Máy dò điểm chết dưới, PS464TEA-14M05 gồm bộ 4 đầu cảm biến PS4014 và 4 dây cảm biến L5m, Sugiyama

Cảm biến chiều cao khuôn PS464 là cảm biến điểm chết đáy có độ chính xác cao, đạt độ phân giải dưới micromet bằng cách sử dụng các công nghệ tương tự/số hóa mới nhất. PS464/462 được thiết kế để cho phép phát hiện diện tích rộng hơn với độ phân giải cao 0,1um và các chức năng hữu ích dựa trên kinh nghiệm nhiều năm.
Ngoài ra, việc phát hiện các khuôn chạm đáy khó khăn giờ đây trở nên dễ dàng hơn nhờ sử dụng phương pháp định thời góc bên trong mới được phát triển.